Kantenisolation: Selective Etching SE 3600

Neuartiges Kantenisolationsverfahren senkt Kosten pro Watt im zweistelligen Bereich

Kombiniertes Dispens-/Ätzverfahren zur Kantenisolation. Gemeinsam mit dem Darmstädter Pharma- und Chemieunternehmen Merck hat SCHILLER AUTOMATION ein neues bahnbrechendes Verfahren zur Kantenisolation von Solarwafern entwickelt.

Das kombinierte isishape® Etching/Dispensing-Verfahren ist nicht nur schneller und zuverlässiger, sondern kann im Vergleich zu den bislang üblichen Laser- und Single-Side-Etching-Verfahren mit den niedrigsten Kosten pro Watt aufwarten. Das schnelle und berührungsfreie Verfahren garantiert eine Gutteileausbeute von ca. 99,9% sowie eine überdurchschnittlich hohe Verfügbarkeit von 95%. Weil keine gefährlichen Chemikalien zum Einsatz kommen, ist der Fertigungsprozess darüber hinaus sicher und umweltfreundlich. Mit diesem materialschonenden Verfahren steigern Sie die Produktivität Ihrer Anlage nachhaltig und senken Ihre Kosten drastisch.

Vorteile

  • Niedrigste Kosten per Watt
  • Kontaktlose Applikation
  • Materialschonend, umweltfreundlich
  • Modular, flexibel, skalierbar

Leistungsdaten

  • 3.600 Wafer p.h.
  • Verfügbarkeit > 95%
  • Yield ca. 99,9%
  • Flexibel, Interface Automation Inline/Batch