Schnelles, präzises und bruchsicheres Substrathandling

Der Transport und die Umsetzung der rund eineinhalb Quadratmeter großen, nur etwa drei Millimeter dünnen bruchempfindlichen Substrate von Station zu Station muss sanft und schonend, gleichzeitig aber schnell und präzise erfolgen. 6-Achs-Robotik-Handlingsysteme mit eigens von SCHILLER AUTOMATION entwickelten Applikationen wie beispielsweise den Vakuum-Endeffektoren im Verbund mit einer leistungsfähigen Software sorgen für schnelles und bruchsicheres Be-, Entladen und Umsetzen der Glassubstrate. 6-Achs Robotik Handlingsysteme übernehmen beispielsweise die Substrate vom Conveyorband des Inspektionssystems nach dem Eingangscleaner und platzieren diese in der Systemkassette oder führen die Glassubstrate nach der Prozessierung wieder in die Kassette zurück.